量子芯片研发的“中国刻刀” 全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
类别：电脑数码
发布时间：2025-08-14 15:04
【太平洋科技快讯】近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯：全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试阶段，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发领域从此有了“中国刻刀”。
据悉，这台新一代 100kV 电子束光刻机依托浙江省重点实验室平台研发，目前已正式投入市场。据研发团队介绍，“羲之”电子束光刻机专攻量子芯片和新型半导体研发的核心环节，通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到 0.6nm，线宽 8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，特别适合芯片研发初期的反复调试。
值得注意的是，此类设备长期受国际出口管制，导致中国科学技术大学、之江实验室等国内顶尖科研机构长期无法采购。而“羲之”的的落地将有望打破这一困局。更令人欣喜的是，该设备的定价低于国际市场均价，目前已与多家企业与科研机构展开接洽。
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